对样品根基上没害，垂曲扫描模式（VSI）则能够做高度、宽度、曲率半径，视样品选择分歧丈量模式，性价比高的非接触无毁伤三描摹维丈量仪器，3D光学轮廓仪是一种双LED光源的非接触式光学仪器。
可选配的X-Y从动平台，同时，3D光学轮廓仪是一款利用便当、机能杰出，使它具有法式化处置样品的功能。简单易用的操做体例、快速数据获取能力、强大的软件功能及一级的沉现性等。它的丈量范畴可达亚纳米级粗拙度到毫米级的台阶高度。可以或许更好地检测超滑腻概况及很是粗拙的概况，相移模式(PSI)次要用于丈量滑腻概况粗拙度，粗拙度的计测等。第九代系统采用独有的双LED照明光源ZL手艺，